single wafer plasma system

英 美
  • 单晶片处理式等离子装置
  • plasma n.等离子体；血浆
  • single adj.单一的；单个的；特指某人或某物；单身的；单人的；单程的n.单程票；单曲；单人房间；单身者；一元纸币；(网球)单打比赛；(板球)一分打；(棒球)一垒打v.挑选(一个)
  • system n.系统；体系；身体；制度
  • wafer n.薄脆饼；圆片；[宗]圣饼；[电]薄片；晶片v.封缄；切成薄片

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