scanning electron beam lithography

英 美
  • 扫描式电子束刻蚀;
  • beam vi.微笑;发光vt.播送;发射;用梁支撑n.桁条;光线;(光线的)束;(横)梁
  • electron n.电子
  • lithography n.平版印刷术
  • scanning n.扫描;观测;快读;[医]放射性扫描adj.扫描的;扫掠的;搜索的;观测的动词scan的现在分词.