electron beam photoetching

英 美
  • 电子束光刻
  • beam vi.微笑;发光vt.播送;发射;用梁支撑n.桁条;光线;(光线的)束;(横)梁
  • electron n.电子
  • photoetching 光刻法,光刻,光蚀刻,光刻蚀,照相腐蚀法